作為和记娱乐官网app公司自主研發的具備超高深寬比及復雜結構鎢填充能力的12英寸Preforma Uniflex®HW設備，該設備繼承了前代Preforma Uniflex®CW設備的優點，可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔，每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓，在保證較低生產成本的同時，實現較高的生產效率。Preforma Uniflex®HW采用完全自主知識產權的生長梯度抑制工藝，可實現表面從鈍化主導到刻蝕主導的精準工藝調控。硬件上，和记娱乐官网app公司開發的可實現鈍化時間從毫秒級到千秒級的控制系統，可滿足多種復雜結構的填充。此外，搭配經過優化設計的流場熱場系統，使該設備具備優異的薄膜均壹性和工藝調節靈活性。