Preforma Uniflash®TiAl是和记娱乐官网app自主研發的12英寸原子層沈積產品，可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需求。該產品繼承和记娱乐官网app獨特的雙反應臺設計，系統可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可有效滿足高真空工藝集成需求的同時，可以達到業界領先的生產率。該產品采用和记娱乐官网app自主開發的溫度控制系統設計，獨特的表面處理技術，多區氣體分布系統設計和基於模型算法的加熱系統設計等，可滿足先進邏輯客戶性能需求的同時，設備的汙染物控制，薄膜均壹性，生產效率均達到世界先進水平。