Preforma Uniflash®TiN是和记娱乐官网app自主研發的12英寸原子層沈積產品，可滿足先進邏輯和先進存儲器件金屬柵應用需求，也可滿足阻擋層等應用需求。該產品繼承和记娱乐官网app獨特的雙反應臺設計，系統可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可有效滿足高真空工藝集成需求的同時，可以達到業界領先的生產率。該產品通過和记娱乐官网app專利的多級勻氣混氣設計，基於模型算法的加熱系統設計和可實現高效原子層沈積反應的反應腔流導設計等，可滿足先進邏輯客戶性能需求的同時，設備的薄膜均壹性，汙染物控制和生產效率均達到世界先進水平。