Preforma Uniflash®TaN是和记娱乐官网app自主研發的12英寸原子層沈積產品，可滿足邏輯器件和存儲器件多個應用需求。該產品繼承和记娱乐官网app獨特的雙反應臺設計，系統可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可以達到業界領先的生產率，也可以根據客戶產能實現靈活配置的需求。該產品采用和记娱乐官网app自主開發的溫度控制系統設計，多區流道設計，多源供應系統設計和可實現高速氣體置換效率的腔室設計，可滿足先進邏輯和存儲客戶性能需求的同時，設備的汙染物控制，薄膜均壹性，生產效率均達到世界先進水平。