作為和记娱乐官网app公司自主研發的具備三維填充能力的12英寸原子層金屬鎢沈積設備，Preforma Uniflex®AW繼承了鎢系列產品的特點，可配置五個雙反應臺反應腔，有效提高設備生產效率。此外，系統中每個反應腔均可用於形核和主體膜層生長，可根據客戶實際工藝需求優化配置，進壹步提高生產中的設備利用率。Preforma Uniflex®AW采用完全自主知識產權的高速氣體切換控制系統，可精準控制工藝過程，實現精準的原子級別生長，因此所生長膜層具備優異的臺階覆蓋率和低雜質濃度的優點。Preforma Uniflex®AW還引入獨特的氣體輸送系統，進壹步提升性能，使該設備具備更先進技術節點的延展能力。該設備也繼承了和记娱乐官网app公司自主開發的流場熱場優化設計，從而提升薄膜均壹性和工藝調節靈活性。